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本仪器是根据新版GMP（2010版）的要求与南京理工大学等单位共同开发研制的成功产品。该产品整体体采用316L不锈钢制作的外壳。激光传感器采用全半导体激光器及半导体光敏二极管接收器，确保光源的稳定性和信号接收器的准确度。

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微量氧分析仪为检验高纯度制程气体中的微量含氧，以确保制程气体的纯度，避免管路泄漏破损渗入大气中的氧气破坏制程品质，增进制程良率，并依各制程对制程气体管路含氧量之要求，进行必要之测试设备。微量氧分析仪适用于氮气、氢气、氩气等还原性气体中微量氧的侦测。

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